产品简介
OVERVIEWGoGo Instruments 电学应用冷热台专为样品变温电学性能测试而设计，用于表征材料电学特性随温度的变化规律。该设备在光学冷热台基础上集成电学模块（包含探针、位移机构及电学接口），通过移动探针实现针尖与样品表面任意区域的精准接触，电信号经由探针—信号线—接口传输至外部测量仪表（如源表、数字万用表等）获取变温条件下的电压、电流、电阻、电容、电感等参数。产品按探针调节方式分为内部调节探针台、外部调节探针台与电控调节探针台三类，并具备 −190 ℃~1200 ℃ 的宽范围精准控温能力（液氮致冷、热电制冷、电阻加热、红外加热、激光加热等）。适配市场常见电学仪表（KEITHLEY、HIOKI、KEYSIGHT、POLYK、Tonghui、SIGLENT 等品牌），并提供多语言 SDK（如 LabVIEW、C#），赋能客户高效定制化集成。
核心特点
FEATURES三类探针架构
内部调节 / 外部调节 / 电控调节，覆盖器件级到晶圆级电学测试。
精准接触
磁吸式、固定式、高压、同轴、微型万向等探针可选；XY 位移精度最高 1 μm。
电学接口齐全
BNC（4 GHz）、三同轴 BNC（500 MHz）、SMA（DC~40 GHz，50 Ω）等接口按需选配。
系统级方案
温控台 + 探针 + 仪表 + 专用测试软件 + SDK（LabVIEW / C#）一体化交付。
应用领域
APPLICATIONS产品线矩阵
MODEL MATRIX
微分支式内置调节探针，旋开上盖即可取放样品；覆盖 ECH / EPE / EH 系列，适配器件级常规变温电学测试。
位移台外置，通过波纹管与腔体连接，微调精度更高；适配大尺寸样品与光、电、温度多物理场耦合测试。
采用电控探针座，实验过程中可实时电动控制探针位置，无需开启腔体即可完成多点位测量。
电控调节探针台
SPECIFICATIONS
ECH400V-EC 电控调节探针台
采用电控探针座 ×2 + 铜镀金探针 ×2，实验过程中可实时电动控制探针位置，无需开启真空腔体即可切换测试点位；最小定位精度 5 μm，支持反射 / 透射（φ2 mm 透光孔）光路与 JGS2 石英视窗，可与光学显微镜、光谱仪及各类电学仪表联用。
| 型 号 | ECH400V-EC |
|---|---|
| 冷热方式 | 液氮致冷，电阻加热 |
| 温度范围 | −190 ℃~400 ℃ |
| 温度稳定性 | ±0.1 ℃ |
| 控温速率 | 最大升温 150 ℃/min，最大降温 40 ℃/min |
| 载样台 | 银质；23 mm×23 mm |
| 光路 / 视窗 | 反射 / 透射（φ2 mm 透光孔）；JGS2 石英玻璃（220~2500 nm） |
| h（视窗上表面至载样台上表面） | 5 mm |
| 探针 | 电控探针×2 + 铜镀金探针×2 |
| 探针调节 | XYZ 行程 ±6 mm；实验中实时电控，定位精度 5 μm |
| 探针接口 | BNC×2 |
| 腔室 | 真空 |
| 外形尺寸 | 110×170×45 mm |
| 净重 | 1.5 kg |
技术说明 · 电学接口 / 夹具 / 腔室
TECHNICAL NOTES| 电学接口 | BNC 接口 | 三同轴 BNC 接口 | SMA 接口 |
|---|---|---|---|
| 频率范围 | 4 GHz | 500 MHz | 0~18 GHz（可选配 DC~40 GHz） |
| 阻 抗 | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| 用 途 | 适用于低频的电学测量 | 适用于低噪声的电学测量 | 适合于高性能的高频应用场合 |
| 优 势 | 连接可靠、抗干扰、使用方便 | 配合结构与连接线可可达 fA 级 | 尺寸小、性能优越 |
夹具与腔室：夹具可选常规探针、帕尔贴探针、开尔文探针、探针卡、接插线、PCB 板、排针等，也可定制，材质覆盖钨铼合金 / 铜 / 铍铜（探针直径 0.5~2 mm，针尖直径 <100 nm~<500 μm）。腔室分气氛结构（配标准快插接头）、真空结构（真空度最高 10-3 Pa）、真空换气结构与高压结构（可耐 1 MPa）。
应用案例 · 定制实拍
APPLICATION CASES
案例覆盖方向：钙钛矿太阳能电池 · 特殊气路电池 · 真空／高压密封 · 光纤与光电器件 · 多通道（8/14/16 通道）探针 · 外部调节与电控调节 · 铍铜弹性针 · 电介质充放电。
数据来源：GoGo Instruments 原厂应用案例资料（电学应用产品手册）；上述方案均为按客户样品与测试需求定制的电学冷热台系统，外观与配置以实际交付产品为准。
探针座与夹具选型
PROBE HOLDERS & FIXTURES
选型要点：漏电流可选 fA 级 / pA 级；夹具可选常规探针、射频探针、开尔文探针、探针卡、接线柱、PCB 板、排针等，亦可按样品定制；探针材质覆盖钨钢镀金 / 钨铼 / 纯钨 / 紫铜镀金，针杆直径 0.5~2 mm，针尖直径 ≤10 μm~2 mm。
典型配置：GoGo TCS 软件 + 探针冷热台 + GTC-A 温度控制器 + GRCA 致冷控制器 + YDS-35 液氮罐 + GCW-A 循环水机 + 连接线／腔室／附件等；选配定制液氮罐、定制循环水机、真空系统、定制探针与探针接口、电脑主机、定制控制软件。
01内部调节探针台 · 液氮致冷型
| 型 号 | ECH600S | ECH400SV | ECH600 | ECH400V |
|---|---|---|---|---|
| 冷热方式 | 液氮致冷，电阻加热 | 液氮致冷，电阻加热 | 液氮致冷，电阻加热 | 液氮致冷，电阻加热 |
| 温度范围 | −190 ℃~600 ℃ | −190 ℃~400 ℃ | −190 ℃~600 ℃ | −190 ℃~400 ℃ |
| 温度稳定性 | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ |
| 控温速率 | 最大升温 150 ℃/min 最大降温 40 ℃/min | 最大升温 150 ℃/min 最大降温 40 ℃/min | 最大升温 150 ℃/min 最大降温 60 ℃/min | 最大升温 150 ℃/min 最大降温 60 ℃/min |
| 载样台 | 银质；23 mm×23 mm | 银质；23 mm×23 mm | 银质；23 mm×23 mm | 银质；23 mm×23 mm |
| 光路 | 反射 / 透射（φ2 mm 透光孔） | 反射 / 透射（φ2 mm 透光孔） | 反射 / 透射（φ2 mm 透光孔） | 反射 / 透射（φ2 mm 透光孔） |
| 视窗尺寸 | 上 φ25 mm×1 mm；下 φ10 mm×1 mm（透射选配） | 同左 | 同左 | 同左 |
| 视窗材质 | JGS2 石英玻璃（220~2500 nm），可手动拆卸更换 | 同左 | 同左 | 同左 |
| 视窗除霜 | 配吹气支架，低温下清除气氮除霜 | 同左 | 同左 | 同左 |
| h（视窗上表面至载样台上表面） | 7 mm | 7 mm | 7.5 mm | 7.5 mm |
| 样品腔高度 | 6 mm | 6 mm | 6.5 mm | 6.5 mm |
| 探针 | 磁吸式 / 固定式探针×4 + 铜镀金探针×2 | 同左 | 同左 | 同左 |
| 探针接口 | BNC×4 | BNC×4 | BNC×4 | BNC×4 |
| 腔室 | 气氛 | 真空 | 气氛 | 真空 |
| 外形尺寸 | 156.8×143×27 mm | 156.8×143×27 mm （不含波纹管） | 160×150×30 mm | 160×150×30 mm （不含波纹管） |
| 净重 | 0.9 kg | 0.6 kg | 1.5 kg | 1.4 kg |
02内部调节探针台 · 帕尔贴 / 高温型
| 型 号 | EPE120 | EPE120V | EH200-Mini | EH600S |
|---|---|---|---|---|
| 冷热方式 | TEC（热电制冷） | TEC（热电制冷） | 电阻加热 | 电阻加热 |
| 温度范围 | −25 ℃~120 ℃ | −25 ℃~120 ℃ | RT~200 ℃ | RT~600 ℃ |
| 温度稳定性 | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ |
| 控温速率 | 最大升温 30 ℃/min 最大降温 30 ℃/min | 同左 | 最大升温 150 ℃/min 降温速率可控 | 最大升温 150 ℃/min 降温速率可控 |
| 载样台 | 铜质；40 mm×40 mm | 铜质；40 mm×40 mm | 银质；φ20 mm×4 mm | 银质；23 mm×23 mm |
| 光路 | 反射 / 透射（φ2 mm 透光孔） | 同左 | 反射 | 反射 / 透射（φ2 mm 透光孔） |
| 视窗尺寸 | 上 φ25 mm×1 mm；下 φ10 mm×1 mm（选配） | 同左 | — | 上 φ25 mm×1 mm；下 φ10 mm×1 mm（选配） |
| 视窗材质 | JGS2 石英玻璃（220~2500 nm），可手动拆卸更换 | 同左 | — | 同左 |
| h（视窗上表面至载样台上表面） | 7.5 mm | 7.5 mm | — | 7 mm |
| 样品腔高度 | 6.5 mm | 6.5 mm | 6 mm | 6 mm |
| 探针 | 固定式探针×4 + 铜镀金探针×4 | 固定式探针×4 + 铜镀金探针×4 | 高压探针×2 + 铜镀金探针×2 | 磁吸式探针×4 + 铜镀金探针×2 |
| 探针接口 | BNC×4 | BNC×4 | BNC×2 | BNC×4 |
| 腔室 | 气氛 | 真空 | 裸露 | 气氛 |
| 外形尺寸 | 204×194×41 mm | 204×268×41 mm | 220×220×20 mm | 146.8×143×27 mm |
| 净重 | 0.9 kg | 0.8 kg | 0.5 kg | 0.6 kg |
03高温探针台
| 型 号 | EH1000 | EH1200 | EH1000S-HE |
|---|---|---|---|
| 冷热方式 | 电阻加热 | 电阻加热 | 电阻加热 |
| 温度范围 | RT~1000 ℃ | RT~1200 ℃ | RT~1000 ℃ |
| 温度稳定性 | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ |
| 控温速率 | 最大升温 150 ℃/min 降温速率可控 | 同左 | 同左 |
| 载样台 | 陶瓷；20 mm×20 mm | 陶瓷；20 mm×20 mm | 陶瓷；20 mm×20 mm |
| 光路 | 反射 | 反射 | 反射 |
| 视窗尺寸 | φ25 mm×1 mm | φ25 mm×1 mm | φ25 mm×1 mm |
| 视窗材质 | JGS2 石英玻璃（220~2500 nm），可手动拆卸更换 | 同左 | 同左 |
| h（视窗上表面至载样台上表面） | 10 mm | 10.5 mm | 10.5 mm |
| 探针 | 固定式探针×4 + 铜镀金探针×4 | 固定式探针×4 + 铜镀金探针×4 | 铜探针×4 |
| 探针接口 | BNC×4 | BNC×4 | BNC×4 |
| 腔室 | 气氛 | 气氛 | 气氛 |
| 外形尺寸 | 150×210×27 mm | 120×120×25 mm | 120×120×25 mm |
| 净重 | 1.6 kg | 0.6 kg | 0.6 kg |
04外部调节探针台（位移台外置）
| 型 号 | ECH400V-EM | ECH400V-EB | EPE120V-EM | EH1000V-EM |
|---|---|---|---|---|
| 冷热方式 | 液氮致冷，电阻加热 | 液氮致冷，电阻加热 | TEC（热电制冷） | 电阻加热 |
| 温度范围 | −190 ℃~400 ℃ | −190 ℃~400 ℃ | −25 ℃~120 ℃ | RT~1000 ℃ |
| 温度稳定性 | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ | ±0.1 ℃ |
| 控温速率 | 最大升温 150 ℃/min 最大降温 40 ℃/min | 同左 | 最大升温 30 ℃/min 最大降温 30 ℃/min | 最大升温 150 ℃/min 降温速率可控 |
| 载样台 | 银质；23 mm×23 mm | 银质；23 mm×23 mm | 铜质；40 mm×40 mm | 陶瓷；20 mm×20 mm |
| 光路 / 视窗 | 反射；上视窗 φ25 mm×1 mm JGS2 石英（220~2500 nm） | 同左 | 反射；上视窗 φ100 mm×3 mm | 反射；上视窗 φ25 mm×1 mm |
| h（视窗上表面至载样台上表面） | 25 mm | 16.5 mm | 14 mm | 33.5 mm |
| 探针 | 钨铼合金曲柄式探针×4 | 钨铼合金曲柄式探针×4 | 钨铼合金曲柄式探针×4 | 钨铼合金探针×4 |
| 探针调节行程 | XYZ 行程 ±6 mm | XYZ 行程 ±6 mm | XYZ 行程 ±6 mm | XYZ 行程 ±12.5 mm |
| 探针接口 | 三同轴 BNC×4 | 三同轴 BNC×4 | 三同轴 BNC×4 | 三同轴 BNC×4 |
| 腔室 | 真空 | 真空 | 真空 | 真空 |
| 外形尺寸 | 436×436×112 mm | 430×430×50 mm | 374×375×96 mm | 520×520×145 mm |
| 净重 | 13.5 kg | 10.5 kg | 15 kg | 23 kg |
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