紫外反射镜系列 ST-UV

晟滔紫外反射镜系列覆盖 193 nm 至 266 nm 深紫外与紫外波段，含减反射镜（AR）、高反射镜（HR）及 45° 高反射 / 分光镜共 12 款型号。全部采用 蒸发硬膜（248 / 266 nm 高反射型号可选蒸发 / 溅射硬膜）工艺，以高低折射率材料交替堆叠实现高精度光谱控制：减反射镜峰值透过率 T ≥ 99.5%，高反射镜峰值反射率 R ≥ 99.8%，45° 系列给出 Rp / Rs 偏振分光指标。面型精度 PV 1/10 @633 nm、通光孔径 ≥ 95%，抗激光损伤阈值最高 3 J/cm²（8 ns 脉冲），适用于准分子激光系统、光刻光学系统等强紫外工况。各型号实测光谱曲线与逐项指标见后两页。

ST-UV-193-AR　193 nm 紫外减反射镜
透过率 T% 随波长（180–300 nm）；T ≥ 99.03% @193 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；透射波前 PV 1/10@633nm

ST-UV-193-HR　193 nm 紫外高反射镜
反射率 R% 随波长（180–300 nm）；Ra ≥ 99.1% @193 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；损伤阈值 1 J/cm²·20ns@193nm

ST-UV-193-HR45　193 nm 45° 紫外高反射镜
Rp / Rs / Ra 随波长（184–234 nm）；Ra ≥ 96.33% @193 nm（Rp≈96.01%、Rs≈98.69%）；入射角 45°±2°；损伤阈值 >1.2 J/cm²·10ns@193nm

ST-UV-214-AR　214 nm 紫外减反射镜
透过率 T% 随波长（180–300 nm）；T ≥ 99.5% @214 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；基底 CaF2；透射波前 PV 1/10@633nm

ST-UV-214-HR　214 nm 紫外高反射镜
反射率 R% 随波长（180–300 nm）；Ra ≥ 99.5% @214 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；面型 PV 1/10@633nm；损伤阈值 1 J/cm²·20ns@193nm

ST-UV-214-HR45　214 nm 45° 紫外高反射镜
Rp / Rs / Ra 随波长（200–300 nm）；Ra ≥ 97.35% @214 nm（Rp≈96.01%、Rs≈98.69%）；入射角 45°±2°；面型 PV 1/10@633nm；损伤阈值 >1.2 J/cm²·10ns@193nm

注：纵轴为透过率 T% 或反射率 R%；45° 型号区分 Rp（p 偏振）、Rs（s 偏振）与 Ra（平均反射率）。实际元件性能随通光口径、入射角与基底材料略有差异，订购前请与我司确认具体规格。

ST-UV-248-AR　248 nm 紫外减反射镜
透过率 T% 随波长（180–300 nm）；T > 99.7% @248 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；基底 熔融石英

ST-UV-248-HR　248 nm 紫外高反射镜
反射率 R% 随波长（200–350 nm）；R > 99.8% @248 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；损伤阈值 3 J/cm²·8ns@248nm

ST-UV-250-HR　250–290 nm 宽波段高反射镜
反射率随波长（240–290 nm）；平均反射率 > 97% @250–290 nm；入射角 0°；基底 熔融石英；中心波长 250 nm（可定制）

ST-UV-266-AR　266 nm 紫外减反射镜
透过率 T% 随波长（180–310 nm）；T > 99.5% @266 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；基底 熔融石英；透射波前 PV 1/10@633nm

ST-UV-266-HR　266 nm 紫外高反射镜
反射率 R% 随波长（220–340 nm）；R > 99.3% @266 nm；入射角 0°±2°；通光孔径 ≥95%；面型 PV 1/10@633nm；损伤阈值 2.5 J/cm²@266nm,20ns,20Hz

ST-UV-266-BS45　266 nm 45° 紫外分光镜
Tp / Rs / Ts 随波长（250–280 nm）；Tp = 99% & Rs = 99.8% @266 nm；入射角 45°±2°；面型 PV 1/10@633nm；损伤阈值 2.5 J/cm²@266nm,20ns,20Hz

注：纵轴为透过率 T% 或反射率 R%；45° 型号区分 Rp（p 偏振）、Rs（s 偏振）与 Ra（平均反射率）。实际元件性能随通光口径、入射角与基底材料略有差异，订购前请与我司确认具体规格。