产品简介
本系列覆盖 400 nm – 13 µm 的可见、近红外与短波红外物镜，以晟滔（国产平替）与 Mitutoyo 三丰 M Plan Apo NIR 系列为主力：480–1800 nm 全谱段复消色差平场校正，即使波长从可见光（480 nm）变化到近红外（1800 nm），工件像面仍保持在焦深之内，因此特别适合 激光修复、激光打标与激光切割电路板。
高分辨子系列 NIR HR 分辨力较标准型提升约 50%（NA 0.65 / 0.70），NIR B 提供 25.5 mm 超长工作距离；LCD Plan Apo NIR 按液晶玻璃厚度 t=0.7 / 1.1 mm 校正，适合透过玻璃的高倍率观察与 LAH 激光退火系统。此外 Thorlabs HPA50XAB（400–1100 nm）与 ZnSe 红外透镜（2–13 µm，10.6 µm CO2 激光）补齐了中红外段。
品牌与产品矩阵
晟滔（国产平替系列）
M Plan Apo NIR 5×–100×、NIR HR 50×/100×、NIR B 超长 WD、LCD Plan Apo NIR 盖板校正全系覆盖，齐焦 95 mm、M26×0.706，与三丰一一对应。
Mitutoyo 三丰
无限远校正明视场平场复消色差；5×–100× 全倍率，NA 0.14–0.50（HR 达 0.70），WD 10–37.5 mm，适用于 YAG 基波与二、三次谐波。
Thorlabs 索雷博
HPA50XAB 高分辨平场复消色差 VIS+ 物镜（NA 0.75，轴向色差校正至 850 nm）；ZnSe 平凸/双凸透镜（10.6 µm 设计，T>92%）用于 CO2 激光。
配套管镜与转塔
Mitutoyo FS 系列显微镜、VMU 测量显微镜、MT / MF-U 转塔直接适配；配 200 mm 焦距管镜可获得标称倍率与视场。
相机与探测器适配
NIR/SWIR 段建议配 InGaAs 相机（900–1700 nm）；可见–NIR 宽谱应用可选宽谱 CMOS/CCD，注意 CRA 匹配。
激光导入与保护
连续振荡输入上限 0.25 kW/cm²@532 nm、0.5 kW/cm²@1064 nm；脉冲（10 ns）上限 0.1 J/cm²@532 nm、0.2 J/cm²@1064 nm；HR 型可换保护玻璃。
典型应用领域
红外物镜可用波段覆盖
图 1 红外物镜可用波段覆盖（横轴对数坐标）。Mitutoyo / 晟滔 M Plan Apo NIR 全系（480–1800 nm）同时覆盖可见光与 SWIR，是硅片穿透检测与 1064 nm 应用的首选；Thorlabs HPA50XAB 覆盖 400–1100 nm；ZnSe 红外透镜覆盖 2–13 µm，用于 10.6 µm CO2 激光。
光谱透过率特性
图 2 Mitutoyo / 晟滔 三大系列光谱透过率对照。■ 深蓝＝M Plan Apo NIR 100×（480–1800 nm 全谱平坦，600 nm ≈80%、900 nm ≈60%、1200 nm ≈55%、1800 nm ≈50%）；■ 橙＝M Plan UV 80×（266/550 nm 优化，UV 专用）；■ 浅蓝＝M Plan Apo NUV 100×（355–620 nm，900 nm 后仅 15%）。数据来源：Mitutoyo / Edmund Optics 公开光谱透过率特性数据。
全系列型号选型表
| 品牌 | 系列 / 型号 | 倍率 | NA | WD | 校正 / 设计波段 | 螺纹 / 齐焦 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 晟滔 | M Plan Apo NIR 5× / 10× / 20× / 50× / 100× | 5×–100× | 0.14–0.50 | 37.5 / 31.0 / 20.0 / 17.0 / 12.0 mm | 480 – 1800 nm 平场复消色差 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| 晟滔 | M Plan Apo NIR HR 50× / 100× | 50× / 100× | 0.65 / 0.70 | 10 mm | 480 – 1800 nm 高分辨型（可换保护玻璃） | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| 晟滔 | M Plan Apo NIR B 20× / 50× | 20× / 50× | 0.40 / 0.42 | 25.5 mm | 480 – 1800 nm 超长工作距离 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| 晟滔 | LCD Plan Apo NIR 20× / 50× / 100× | 20×–100× | 0.40–0.50 | 20 / 17 / 12 mm | 盖板 t=0.7 / 1.1 mm 校正 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Mitutoyo | M Plan Apo NIR 5× / 10× / 20× / 50× / 100× | 5×–100× | 0.14–0.50 | 37.5 / 31.0 / 20.0 / 17.0 / 12.0 mm | 480 – 1800 nm；№378-822-5 起 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Mitutoyo | M Plan Apo NIR HR 50× / 100× | 50× / 100× | 0.65 / 0.70 | 10 mm | 480 – 1800 nm 高分辨；№378-863-5 / 864-15 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Mitutoyo | M Plan Apo NIR B 20× / 50× | 20× / 50× | 0.40 / 0.42 | 25.5 mm | 超长工作距离；№378-867-5 / 868-5 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Thorlabs | HPA50XAB（Plan Apo VIS+） | 50× | 0.75 | 5.0 mm | AR 400 – 1100 nm（轴向色差校正 436–850 nm） | W26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Thorlabs | ZnSe 平凸 / 双凸透镜 | — | — | — | 2 – 13 µm（10.6 µm 设计，T > 92%） | Ø1" / Ø2" 镜架安装 |
选型要点：① 硅片穿透 / 亚表面检测选 M Plan Apo NIR（1800 nm 上限，硅在该波段高透）；② 微细缺陷 / 高分辨选 NIR HR（NA 0.65/0.70，分辨力提升约 50%）；③ 样品上方需留治具空间选 NIR B（WD 25.5 mm）；④ 透过液晶玻璃观察选 LCD Plan Apo NIR（t=0.7/1.1 mm 补偿）；⑤ 波长超过 1100 nm 时玻璃色散与折射率变化会使焦点位置略偏离可见光焦点，需重新对焦。
主要技术参数
| 指标名称 | 典型值 | 指标名称 | 典型值 |
|---|---|---|---|
| 覆盖波段 | 480 – 1800 nm（可见 + NIR + SWIR） | 中红外扩展 | 2 – 13 µm（ZnSe 透镜，10.6 µm 设计） |
| 数值孔径范围 | 0.14 – 0.70（NIR 系列） | 最高 NA | 0.75（Thorlabs HPA50XAB，VIS+） |
| 工作距离范围 | 10.0 – 37.5 mm（NIR 系列） | 最长 WD | 37.5 mm（M Plan Apo NIR 5×）/ 25.5 mm（NIR B） |
| 分辨力 / 焦深 | R 0.4–2.0 µm；D.F. ±0.6–14 µm（λ=550 nm） | 光谱透过率 | 600 nm ≈80%、900 nm ≈60%、1200 nm ≈55%、1800 nm ≈50% |
| 共轭方式 | 无限远校正，配 200 mm 焦距管镜 | 像差校正 | 平场复消色差（M Plan Apo） |
| 安装螺纹 | M26×0.706（W26, ISO 8038） | 齐焦距离 | 95 mm（M26 系列） |
| 盖板玻璃校正 | t = 0 / 0.7 / 1.1 mm（LCD Plan Apo NIR） | 工作介质 | 空气（干式） |
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红外物镜能看可见光吗？
能透，但校正点在近红外，可见光段像质会下降。要两个波段都成像，选宽带校正的型号，并接受两端都不是最优。
为什么硅片能透过红外看到内部？
单晶硅在 1.1µm 以上吸收系数骤降，1100–1700nm 基本透明。这也是 InGaAs 相机在半导体检测里不可替代的原因。
1064nm 拉曼要用专用物镜吗？
强烈建议。1064nm 激发本身信号就弱（散射截面与 λ⁻⁴ 成反比），物镜再损失一半，等于把积分时间拉长四倍。
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