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SHORT-WAVE INFRARED IMAGING · InGaAs FOCAL PLANE ARRAY

短波红外相机系列 ST640

0.9 – 1.7 μm InGaAs 焦平面 | 640×512 · 15 μm 像元 | 四级 TEC 制冷 −10℃ / −25℃ / −50℃ / −80℃ | 最高 724 fps

0.9 – 1.7 μm 短波红外640×512 · 15 μm四级制冷 −10 ~ −80℃最高 724 fps12 – 16 bit全国产 InGaAs 芯片
短波红外相机系列 ST640
01

产品简介

晟滔 ST640 系列短波红外相机以 InGaAs(铟镓砷)焦平面探测器为核心,统一采用 640 × 512、15 μm 像元规格,光谱响应覆盖 0.9 – 1.7 μm,全系列 Snapshot 全局快门,数据位宽 12 – 16 bit。型号命名即“ST 分辨率 - 制冷温度”,按 TEC 制冷强度形成 四个温度版本:ST640-10(1 级 TEC,ΔT ≈ 30℃)、ST640-25(内置 TEC 精准控温 ≤ −25℃)、ST640-50(三级 TEC,−50℃ 风冷)与 ST640-80(四级 TEC 水冷,焦平面 −80℃)。

制冷越深,暗电流与暗噪声越低,可用的积分时间越长、弱光信噪比越好 —— 从 48 mm 见方、135 g 重、功耗不足 1.5 W 的轻量化机芯,到 485 g 的高速 CameraLink 制冷相机,再到 16-bit、读出噪声低至 29 e⁻ 的深低温机芯,客户可以按 灵敏度预算与 集成空间在四个温度版本之间直接选型,而无需在分辨率与制冷能力之间反复妥协。

02

四个温度版本产品矩阵

ST640-10
−10℃ | 1 级 TEC

轻量经济型短波红外机芯

  • 640×512 | 15 μm | 0.9 – 1.7 μm
  • 25 / 50 Hz,Snapshot 全局快门
  • 1 级 TEC,控温 ±0.1℃,ΔT ≈ 30℃
  • QE ≥ 70% | 有效像元率 ≥ 99.8%
  • CameraLink / USB3.0 / 网口
  • 48×48×48.5 mm | 135 g | < 1.5 W
ST640-25
−25℃ | 内置 TEC

高速制冷型短波红外相机

  • 640×512 | 15 μm | 900 – 1700 nm
  • 最高 724 fps @640×512
  • 内置 TEC 精准控温 ≤ −25℃
  • 12 / 14 bit | 动态范围 69.2 dB
  • USB3 / GigE / 10GigE / CL Full
  • 4 Gb 缓存 | 68×68×90.3 mm
ST640-50
−50℃ | 3 级 TEC

科研型短波红外面阵相机

  • 640×512 | 15 μm | 0.9 – 1.7 μm
  • 50 Hz | 曝光 15 μs – 60 s
  • 三级 TEC,可制冷至 −50℃(风冷)
  • 读出噪声 ≤ 15 e⁻(HG)| 14 bit
  • CameraLink 或 Ethernet 双接口
  • 148×98×116.5 mm | ≤ 2 kg
ST640-80
−80℃ | 4 级 TEC 水冷

深低温制冷型短波红外面阵相机

  • 640×512 | 15 μm | 3/4" 靶面
  • 100 fps @640×512 | 16 bit ADC
  • 四级 TEC 水冷,焦平面 −80℃
  • 信噪比 68 dB | 满阱 2.1 Me⁻
  • 读出噪声低至 29 e⁻(HG)| UDP
  • 110×110×105 mm | < 80 W
03

核心特点

四级温度可选

−10 / −25 / −50 / −80℃ 四个制冷等级,按灵敏度预算直接选型

深度制冷控温

多级 TEC,最低焦平面 −80℃(水冷 20℃),有效抑制暗电流

极低噪声长积分

暗电流 ≤ 700 e/s/pixel,读出噪声最低 29 e⁻(HG)

高速全局快门

最高 724 fps @640×512,4 Gb 缓存,运动目标无畸变

接口与开发友好

USB3 / GigE / 10GigE / CameraLink / 网口,配完整 SDK

全国产与可定制

国产 InGaAs 芯片,支持 ROI、外触发、固件升级与 OEM

04

典型应用领域

半导体检测与失效分析
EMMI 显微光致发光定位、硅片穿透、缺陷与漏电点检测
生物医学成像
短波红外活体荧光成像、医学影像与代谢监测
天文与深空观测
深空弱光红外成像,长时间积分捕捉微弱辐射
光纤与光通信检测
1.04 / 1.31 / 1.55 μm 全场 OCT 与光纤传输质量评估
机器视觉与工业分选
水分 / 结冰探测、塑料与材料分选、产线在线检测
高温场测量
300℃ ~ 3000℃ 高温目标成像与可替换融合成像组件
激光光束分析
1064 / 1550 nm 等激光光斑、能量分布与传播过程成像
光伏与新能源
硅片、电池片与组件的内部缺陷、隐裂与断栅检测
安防与夜视监控
短波红外夜视、透雾透烟与伪装目标识别
典型系统配置:短波红外相机本体 + C 口镜头 + CameraLink / USB3 / 万兆网采集卡 + SDK 开发包 + 上位机采集软件;ST640-80 可另配水冷机,并可与我司红外物镜、长工作距离物镜、石英光纤 RXF 系列与光学冷热台组合成完整的显微短波红外成像与光谱探测系统。
05

量子效率曲线与外形尺寸接口

国产 InGaAs 900–1700 nm 量子效率曲线

图 1 量子效率曲线(厂家官方典型曲线):900 nm 起迅速上升,1000 – 1620 nm 波段量子效率稳定在 70% 以上,1250 – 1600 nm 达到峰值约 76%,1650 nm 后快速下降,与 0.9 – 1.7 μm 标称响应范围一致。

CameraLink 制冷版外形尺寸与接口

图 2 外形尺寸与数据接口(ST640-25 CameraLink 制冷版):整机 68 × 68 × 90.3 mm,C-Mount(1-32 UNF-2B)光学接口,背部集中 CameraLink 1 / 2、DC 12 V 与 Trigger 触发接口,4×M2.5 安装孔,可直接嵌入科研光路或产线夹具。

06

选型建议与系统配套

按灵敏度与积分时间选
优先 −80℃ / −50℃

需要长积分弱光成像、深空观测或极弱荧光定位时,选 ST640-80(−80℃ 水冷,16-bit、68 dB、读出噪声低至 29 e⁻)或 ST640-50(−50℃ 风冷,无需水冷即可获得 ≤700 e/s/pixel 的暗电流)。

按速度与集成空间选
优先 −25℃ / −10℃

高速动态过程、分选与产线在线检测,选 ST640-25(724 fps @CameraLink Full,4 Gb 缓存,68×68×90.3 mm);空间与功耗受限的嵌入式系统,选 ST640-10(48 mm 见方、135 g、<1.5 W)。

按制冷成本与运维选
−10℃ → −80℃ 四档

四个温度版本共用 640×512 / 15 μm 探测器与 C 口镜头群,型号仅以制冷温度区分,便于在同一套光路与夹具上做灵敏度升级,也便于按预算分批采购。

系统级配套:四款短波红外相机均可与晟滔拉曼探头(STRPB / STSPS / EmVision)、石英光纤 RXF 系列、红外物镜 / 长工作距离物镜、光学冷热台与锁相放大器直接配套,构成「激发 – 传输 – 成像 – 光谱 – 原位环境」的完整短波红外成像与光谱探测系统;光路设计、系统集成与调试由晟滔一家负责到底。

四个温度版本关键指标对比

指标项ST640-10ST640-25ST640-50ST640-80
产品定位轻量经济型机芯高速制冷型相机科研型面阵相机深低温制冷型相机
探测器类型InGaAs 短波红外焦平面国产 InGaAs CMOS 焦平面InGaAs 短波红外焦平面InGaAs 焦平面
分辨率640 × 512640 × 512640 × 512640 × 512
像元间距15 μm15 μm × 15 μm15 μm15 μm
靶面尺寸—9.60 × 7.68 mm(0.8",对角 12.29 mm)—3/4"
光谱响应范围0.9 – 1.7 μm900 – 1700 nm0.9 – 1.7 μm0.95±0.05 – 1.65±0.05 μm @RT
量子效率≥ 70%官方典型曲线(见图 1)——
最高帧率25 / 50 Hz724 fps @640×51250 Hz100 fps @640×512
快门与曝光Snapshot 全局快门 | 0.005 – 30 ms全局快门 | 20 μs – 1 sSnapshot 全局快门 | 15 μs – 60 s全局快门 | 16 μs 起
输出位深8 / 10 / 14 bit12 / 14 bit14 bit16 bit
动态范围—69.2 / 63.2 / 57.4 dB(LG/MG/HG)3 档可选增益68 / 64 / 53.6 dB(LG/MG/HG)
读出噪声——≤ 15 e⁻(HG)807 / 47 / 29 e⁻(LG/MG/HG)
平均暗电流≤ 100 ke/s @20℃—≤ 700 e/s/pixel @ −50℃(风冷)≤ 650 e⁻/s/pix @ −80℃(水冷)
有效像元率≥ 99.8%—≥ 99.8%—
制冷方式1 级 TEC | 控温 ±0.1℃ | ΔT ≈ 30℃内置 TEC,精准控温 ≤ −25℃三级 TEC,可制冷至 −50℃四级 TEC 水冷,焦平面 −80℃(水冷机 20℃)
数据接口CameraLink / USB3.0 / 网口(J30J)CameraLink Full(另有 USB3 / GigE / 10GigE 版)CameraLink 或 EthernetUDP | Mono 16
光学接口C-MountC 接口C-MountC-mount
供电 / 功耗J30J 5 – 24 V DC(推荐 12 V)| < 1.5 WDC 12 V | < 28 W12 V DC | ≤ 36 WDC 12 V | < 80 W(TEC ON)
尺寸 / 重量48 × 48 × 48.5 mm | 135 ± 3 g68 × 68 × 90.3 mm | 485 g148 × 98 × 116.5 mm | ≤ 2 kg110 × 110 × 105 mm
工作 / 存储温度−40 ~ +50℃ | −45 ~ +85℃−30 ~ +60℃ | −40 ~ +85℃0 ~ +30℃ | −40 ~ +60℃0 ~ +30℃
注:ST640-80 的 LG = CDS-OFF,MG / HG = CDS-ON,数据在水冷机温度 20℃、焦平面温度 −80℃ 条件下测得;ST640-25 的 CameraLink Full 版本对应 CameraLink 采集卡,USB3 / GigE / 10GigE 版本帧率分别为 724 / 360 / 724 fps(8-bit)。

应用案例,文献可查

每条附对应方向公开文献与 DOI,可点开核对。

01半导体失效分析与光子发射定位

集成电路缺陷的光子发射(EMMI)显微定位

应用原理集成电路中的缺陷点(栅氧漏电、结漏电、ESD 损伤)在加偏压时发生载流子复合,辐射出的光子能量低于硅带隙,波长落在 1100–1600 nm,可见光相机完全看不到。硅在 1100 nm 以上开始透明,因此从减薄后的背面成像,可以直接看到金属层下方的发光点,把失效定位到单个器件。

对设备的要求① 响应覆盖 0.9–1.7 μm,1100 nm 以上量子效率要够;② 暗电流足够低,因为发光极弱、常需 10 s 以上累积;③ 14 bit 以上量化与多档增益,兼顾弱发光与亮场对位;④ 全局快门,避免累积期间漂移拖影;⑤ C-mount 直接接探针台或红外显微镜。

本型号如何满足ST640-50:0.95–1.65 μm、640×512、15 μm 像元、14 bit、3 档增益、曝光 15 μs–60 s、三级 TEC 至 −50℃、暗电流 ≤700 e⁻/s/pix、读出噪声 ≤15 e⁻(HG)、C-mount。ST640-80:同为 640×512、15 μm,四级 TEC 水冷至 −80℃、暗电流 ≤650 e⁻/s/pix、16 bit、68 dB 动态范围。

相对优势长曝光场景选 80 型,深制冷把暗电流压到 650 e⁻/s/pix,10 s 累积也不会被热噪声填满;要与探针台联动就选 50 型,网口与 CameraLink 双接口、配套 SDK 可直接嵌进原有测试流程。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

02硅片与晶锭内部缺陷检测

硅锭、硅片内部气泡、夹杂与隐裂的透射成像

应用原理硅对波长大于约 1100 nm 的光子几乎不吸收,短波红外可以像 X 光一样穿过硅体。透射成像时,内部气泡、夹杂物、微裂纹会改变光路或被吸收,在均匀背景上形成暗斑;可见光只能看表面形貌,对埋在内部几十微米的缺陷无能为力。

对设备的要求① 0.9–1.7 μm 响应;② 高动态范围,薄处透亮、厚处偏暗要同时落在有效码值内;③ 平场与坏点校正,否则照明不均会被误判成缺陷;④ 全局快门,适合晶片平移扫描。

本型号如何满足ST640-50 板载非均匀性校正、坏点校正与滤波,14 bit、3 档增益可按样品厚度切换;ST640-80 为 16 bit、68 dB 动态范围,厚晶锭一次采全。两者均为 640×512、15 μm、全局快门。

相对优势板载校正把平场处理放进相机,产线上不必再加一套图像预处理;C-mount 直接配工业镜头或显微物镜,改造成本低。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

03光伏电池电致发光与光致发光成像

晶硅电池的 EL / PL 缺陷成像

应用原理电池加正向偏压后,电子与空穴辐射复合发光,晶硅的发光峰约在 1150 nm;有隐裂、断栅、黑片、杂质污染的区域发光明显变弱,缺陷带还会在 1300–1600 nm 出现亚带隙发光。用短波红外相机拍下这张发光图,一次就能看出整片缺陷分布,比逐点 IV 测试快得多。

对设备的要求① 对 1150 nm 与 1300–1600 nm 都要有响应;② 帧率匹配产线节拍;③ 全局快门,避免电池片移动时拖影;④ 支持外触发与 SDK 集成,和上料、通电时序对齐。

本型号如何满足ST640-50 覆盖 0.95–1.65 μm、50 Hz 全幅;ST640-80 同分辨率下 100 fps、16 bit。两者均为全局快门、Snapshot 积分,SDK 可做时序同步与二次开发。

相对优势在线全检选 80 型,100 fps 全幅不必开 ROI;离线抽检与研发选 50 型,风冷即可工作,不需要水冷配套。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

04活体荧光成像(第二近红外窗口)

1000–1700 nm 窗口的小动物活体荧光成像

应用原理生物组织在 1000–1700 nm 的散射与自荧光都显著低于可见和 700–900 nm 的第一近红外窗口,光能穿得更深、背景更干净。用发射落在这个窗口的探针(稀土纳米颗粒、量子点、碳纳米管),可以在完整皮肤外看到深层血管、淋巴结与肿瘤富集。

对设备的要求① 探测器在 1000–1700 nm 高量子效率;② 极低暗电流与读出噪声,因为探针亮度低、曝光常在秒级;③ 制冷稳定,长时间成像不漂;④ 16 bit 保留弱信号层次。

本型号如何满足ST640-50:读出噪声 ≤15 e⁻(HG)、暗电流 ≤700 e⁻/s/pix@−50℃、14 bit;ST640-80:水冷 −80℃、暗电流 ≤650 e⁻/s/pix、16 bit、最大信噪比 68 dB。

相对优势长时程活体序列选 80 型,深制冷换来几十分钟内基线不爬;短时成像选 50 型,风冷、≤36 W,动物房环境即可部署。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

05天文深空弱光成像

红移星系与星云的短波红外成像

应用原理高红移天体的特征谱线被推到近红外,地面观测的 J、H 波段正落在 1.0–1.7 μm;这一波段还有大气 OH 辉光背景,要求探测器本身噪声极低,才能在不做长时间堆叠的情况下分出暗弱结构。

对设备的要求① 0.9–1.7 μm 高量子效率;② 暗电流尽可能低,单帧曝光可达数十秒;③ 16 bit 以上,保留暗端梯度;④ 全局快门,避免读出期间星像拖尾;⑤ 无需液氮,台站可无人值守。

本型号如何满足ST640-80:四级 TEC 水冷至 −80℃、暗电流 ≤650 e⁻/s/pix、16 bit、68 dB、100 fps、全局快门;ST640-50 为 −50℃、14 bit,适合短曝光导星与准直。

相对优势热电制冷替代液氮,远程台站不必维护制冷剂;UDP 输出便于长距离组网传输。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

06包装内容物与含水率检测

穿透塑料包装的液位、异物与水分检测

应用原理PE、PP 等常见包装材料在短波红外基本透明,而水在 1450 nm 与 1940 nm 附近有强吸收。用 1450 nm 附近的窄带照明做透射成像,液面、含水区域与干燥区域形成明显对比;瓶内异物、缺件也能直接看到,不必开箱。

对设备的要求① 覆盖 1450 nm;② 动态范围足够,兼顾瓶壁高光与液体暗区;③ 帧率匹配灌装线;④ 体积与功耗适合产线多点部署。

本型号如何满足ST640-50 覆盖至 1.65 μm,含 1450 nm;50 Hz 全幅、14 bit、3 档增益;风冷 −50℃,无需水冷。ST640-80 在同样波段提供 100 fps 与 16 bit。

相对优势产线多点位用 50 型,风冷、≤36 W、≤2 kg,直接装在灌装线支架上;只有高速线才需要上 80 型。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

07塑料与矿物材质分选

废旧塑料与矿石的短波红外材质识别

应用原理不同高分子的 C–H 伸缩倍频与组合吸收在 1200–1700 nm 位置不同:PET 在 1660 nm 附近有特征吸收,PE、PP、PS、PVC 各有自己的谱形。用几个窄带滤光片分时成像,比较各波段亮度比,就能在传送带上把不同材质分开,不依赖颜色。

对设备的要求① 1200–1700 nm 响应;② 高帧率,物料在皮带上停留时间短;③ 全局快门,避免运动畸变;④ 支持外触发与多波段同步采集。

本型号如何满足ST640-80:100 fps 全幅、全局快门、16 bit、UDP 输出;ST640-50:50 Hz、14 bit,可开 ROI 进一步提高帧率。

相对优势多波段方案只需在镜头前加滤光轮,相机侧用 SDK 按触发逐波段采集;80 型 100 fps 让四波段分时采集仍能跟上皮带速度。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

08短波红外激光光束诊断

1064 / 1550 nm 激光的光斑形貌与光束质量测量

应用原理1064 nm 与 1550 nm 激光对人眼不可见,用可见光相机加荧光片只能看个大概,还会因荧光非线性失真。短波红外面阵相机可以直接接收激光、经衰减后成像,得到真实的光斑分布、束腰位置与 M² 拟合所需的横模数据。

对设备的要求① 15 μm 级像元,否则小光斑只剩几个像素;② 大动态范围,高斯光束中心与边缘可差三个数量级;③ 全局快门、无 smearing;④ 曝光可短至微秒级,避免饱和。

本型号如何满足ST640 系列为 640×512、15 μm 像元;ST640-50 曝光 15 μs 起、14 bit、暗电流 ≤700 e⁻/s/pix;ST640-80 为 16 bit、68 dB 动态范围、曝光 16 μs 起。

相对优势测高斯光束尾部需要动态范围,80 型 68 dB 一次曝光就能同时记录中心与翼部;只看光斑形貌与准直时用 50 型即可,成本更低。

适用型号:ST640 系列(ST640-50 / ST640-80)

ST640-50 产品规格书

2 页 · 1.1 MB

  • 产品简介
  • 核心特点(3 项)
  • 应用领域(5 类)
  • 主要技术参数(25 项)

含探测器、读出噪声、暗电流、接口与机械尺寸的完整规格。

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ST640-50 和 ST640-80 的差别到底在哪?

主要在制冷深度和读出结构。ST640-80 用四级 TEC 加水冷到 −80℃,帧率 100fps、16-bit、三档增益可切换,动态范围 68dB;ST640-50 三级 TEC 到 −50℃、50fps、14-bit,但读出噪声更低(≤15 e⁻),且提供 CameraLink 接口与完整 SDK 便于二次开发。

为什么短波红外相机都这么贵?

InGaAs 焦平面的材料与工艺成本远高于硅。InGaAs 需要与 InP 衬底晶格匹配外延生长,阵列规模做大后良率下降快,且必须配制冷封装。这几项加起来,同等画幅下价格通常是硅相机的十倍以上。

能用普通 C-mount 镜头吗?

机械接口可以,光学不行。普通镜头镀膜在 1µm 以上反射率很高,会形成鬼影;且部分镜片的胶合层在红外波段吸收。必须选标称覆盖 SWIR 波段的镜头,或者用反射式光学系统。

ST640 支持二次开发吗?

支持。ST640-50 提供 CameraLink 或 Ethernet 接口与完整 SDK,可自定义采集与处理流程;ST640-80 走 UDP 协议输出 Mono 16 原始数据,便于集成到自有软件。这也是自有产品线相对进口机型的优势——接口和结构可以按项目改。

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