产品简介
本系列汇集 晟滔（国产平替）、Mitutoyo 三丰、Olympus 奥林巴斯、SIGMAKOKI 西格玛光机、Thorlabs 索雷博 五大品牌的紫外专用物镜，覆盖 240–620 nm 深紫外到近紫外波段，均为 无限远校正（200 mm 管镜）设计，多数系列为 平场 / 复消色差规格，工作距离长、场曲已校正。
按设计波长可分为三类：266 nm 深紫外（YAG 四倍频激光加工、紫外光刻修复）、340 nm UV 荧光（Fura-2 / Indo-1 钙成像、DAPI 细胞核染色）、355 nm 近紫外宽谱（355 nm 激光打标、半导体晶圆紫外检测）。晟滔型号与三丰规格一一对应，齐焦 95 mm、M26×0.706 螺纹，可与三丰转塔及 200 mm 管镜系统直接互换。
品牌与产品矩阵
晟滔（国产平替系列）
M Plan UV 10×–80×（266/550 nm）+ M Plan Apo NUV 10×–100×（355–620 nm）+ LCD Plan Apo NUV 盖板校正，齐焦 95 mm、M26×0.706，与三丰完全互换。
Mitutoyo 三丰
M Plan UV 10×–80×（266 nm 优化，T≈60%）与 M Plan Apo NUV 10×–100×（355–620 nm，300 nm 处 T 达 80%），世界最长工作距离的 UV 物镜。
Olympus 奥林巴斯
UAPON-340 20X/40X（340 nm 高透，Fura-2 钙成像专用）；UPLSAPO 系列 UV–NIR 复消色差，UPLSAPO100XO 长波端透过率较 PLAPO 高 20 个百分点。
SIGMAKOKI 西格玛光机
PFL-UV-AG 10×–80×：可见谱区与 UV 激光波长双向色差校正，高透过率、长 WD、场曲校正；损伤阈值 0.09 J/cm²@266 nm、0.2 J/cm²@532 nm。
Thorlabs 索雷博
LMUL-10X/20X/50X-UVB 长工作距离 MicroSpot 紫外聚焦物镜：紫外级光学材料 + 宽带 AR 镀膜（反射 <1.5%/面），355 nm 脉冲损伤阈值 5.0 J/cm²（10 ns / 20 Hz）。
配套支架与附件
LHO-26 物镜固定支架、OUCI 同轴照明观察单元、DIMC 分色棱镜（激光导入 + 同轴观测一体），支持 200 mm 管镜与 W26/M26 转塔。
典型应用领域
紫外物镜可用波段覆盖
图 1 各品牌紫外物镜可用波段覆盖（AR 镀膜范围 / 设计波长 / 校正波段）。深紫外段以 Thorlabs LMUL-UVB（240–360 nm）与 Mitutoyo M Plan UV / SIGMAKOKI PFL-UV（266 nm 设计）为主；355 nm 段以 M Plan Apo NUV（355–620 nm）为主力；UV 荧光成像选 Olympus UAPON-340（340 nm 高透）。
光谱透过率特性
图 2 Mitutoyo / 晟滔 三大系列物镜光谱透过率对照。■ 深蓝＝M Plan Apo NIR 100×（近红外参考）；■ 橙＝M Plan UV 80×（266/550 nm 双波长优化，266 nm T≈60%）；■ 浅蓝＝M Plan Apo NUV 100×（355–620 nm，300 nm 处 T 达 80%，900 nm 后衰减至 15%）。数据来源：Mitutoyo / Edmund Optics 公开光谱透过率特性数据。
全系列型号选型表
| 品牌 | 系列 / 型号 | 倍率 | NA | WD | 校正 / 设计波段 | 螺纹 / 齐焦 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 晟滔 | M Plan UV 10× / 20× / 50× / 80× | 10×–80× | 0.25–0.55 | 20.0 / 15.0 / 12.0 / 10.0 mm | 266 – 480 nm（266 nm 深紫外优化） | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| 晟滔 | M Plan Apo NUV 10× / 20× / 50× / 100× | 10×–100× | 0.28–0.50 | 30.5 / 17.0 / 15.0 / 11.0 mm | 355 – 620 nm 近紫外校正 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| 晟滔 | M Plan Apo NUV HR 50× | 50× | 0.65 | 10.0 mm | 355 – 620 nm 高分辨型（R 提升约 50%） | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| 晟滔 | LCD Plan Apo NUV 20× / 50× | 20× / 50× | 0.42 / 0.44 | 17.0 / 14.8 mm | 355 – 620 nm，盖板 t=0.7 / 1.1 mm 补偿 | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Mitutoyo | M Plan UV 10× / 20× / 50× / 80×（378-844/837/838/839） | 10×–80× | 0.25–0.55 | 20.0 / 15.0 / 12.0 / 10.0 mm | 266 – 480 nm（266 nm T≈60%） | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Mitutoyo | M Plan Apo NUV 10× / 20× / 50× / 100×（378-809/817/818/819） | 10×–100× | 0.28–0.50 | 30.5 / 17.0 / 15.0 / 11.0 mm | 355 – 620 nm（300 nm T 达 80%） | M26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Olympus | UAPON20XW340（N2709100） | 20× | 0.70 | 0.35 mm | UV 340 nm 高透，水浸（盖玻片 0.17 mm） | RMS W20.32×0.706 ｜ 45 mm |
| Olympus | UAPON40XW340（N2709300） | 40× | 1.15 | 0.25 mm | UV 340 nm 高透，水浸 + 校正环 | RMS W20.32×0.706 ｜ 45 mm |
| Olympus | UAPON40XO340-2（N4274000） | 40× | 1.35 | 0.10 mm | UV 340 nm 高透，油浸 | RMS W20.32×0.706 ｜ 45 mm |
| Olympus | UPLSAPO100XO（N1480900） | 100× | 1.40 | 0.13 mm | 400 – 800 nm 复消色差（T 85/88/87/82/65%） | RMS W20.32×0.706 ｜ 45 mm |
| SIGMAKOKI | PFL-10 / 20 / 50-UV-AG-A · PFL-80-UV-AG-LC00-A | 10×–80× | 0.20–0.55 | 13.5 / 15.1 / 12.0 / 10.0 mm | 266 nm & 532 nm 双波长设计 | M26 P0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| SIGMAKOKI | PFL-UV-AG 盖板补偿型（LC 系列） | 20×–80× | 0.36–0.55 | 15.1 / 12.0 / 10.0 mm | 按盖板厚度 t=0.7 / 1.1 mm 补偿设计 | M26 P0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Thorlabs | LMUL-10X-UVB | 10× | 0.25 | 20.0 mm | AR 240 – 360 nm（齐焦 95 mm） | W26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
| Thorlabs | LMUL-20X-UVB / 50X-UVB | 20× / 50× | 0.36 / 0.42 | 15.3 / 12.0 mm | AR 240 – 360 nm（355 nm DT 5 J/cm²） | W26×0.706 ｜ 齐焦 95 mm |
选型要点：① 266 nm 深紫外加工优先选 M Plan UV / SIGMAKOKI PFL-UV，注意入射光束直径扩展至瞳径一半（1/e²）以获得最小光斑；② 355 nm 紫外荧光/检测优先 M Plan Apo NUV（355–620 nm，300 nm 处 T 达 80%）；③ 透过盖板玻璃观察时选 LCD Plan Apo NUV（t=0.7 / 1.1 mm 补偿）；④ 水/油浸高 NA 场景选 Olympus UAPON-340；⑤ 晟滔与三丰型号可 1:1 互换，齐焦与螺纹完全一致。
主要技术参数
| 指标名称 | 典型值 | 指标名称 | 典型值 |
|---|---|---|---|
| 覆盖波段 | 240 – 620 nm（深紫外 → 近紫外） | 典型设计波长 | 266 nm / 340 nm / 355 nm / 532 nm |
| 数值孔径范围 | 0.20 – 1.35（视型号） | 最高 NA | 1.35（Olympus UAPON40XO340-2，油浸） |
| 工作距离范围 | 0.10 – 30.5 mm（视型号） | 最长 WD | 30.5 mm（M Plan Apo NUV 10×，UV 系列最长） |
| 光谱透过率 | 266 nm T≈60%；300 nm T 达 80%；400–800 nm 达 85–88% | 激光损伤阈值 | 0.09 J/cm²@266 nm、0.2 J/cm²@532 nm（SIGMAKOKI，10 ns / 20 Hz） |
| 共轭方式 | 无限远校正，配 200 mm 焦距管镜 | 像差校正 | 平场（Plan）+ 复消色差（Apo） |
| 安装螺纹 | M26×0.706（W26, ISO 8038）/ RMS W20.32×0.706 | 齐焦距离 | 95 mm（M26 系列）/ 45 mm（RMS 系列） |
| 盖板玻璃校正 | t = 0 / 0.7 / 1.1 mm 可选（LCD Plan Apo NUV） | 工作介质 | 空气（干式）/ 水浸 / 油浸 |
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紫外物镜能当可见光物镜用吗？
能成像，但不是最优。紫外物镜的镀膜与校正都偏向紫外段，可见光段的透过率与像质未必比同价位可见光物镜好。只在需要紫外时才付这个溢价。
国产平替和进口差在哪？
主要差在批次一致性与长工作距离型号的极限指标。常规 10×–50× 的成像质量差距不大，齐焦 95mm / M26 螺纹可与三丰直接互换，这也是国产平替能用的前提。
为什么 266nm 透过率只有 60%？
镀膜层数与材料在深紫外的吸收决定了这个上限。多层膜每层都有吸收，波长越短越难做高透。这也是深紫外系统要预留更多激光功率的原因。
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