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LONG WORKING DISTANCE OBJECTIVES · 长工作距离物镜选型

长工作距离物镜系列 M Plan Apo / HR

WD 最长 36.5 mm · 1×–100× 全倍率 · 平场复消色差 · 高凸起工件与治具检测专用

WD 最长 36.5 mmNA 0.025–0.901×–100× 全倍率齐焦 95 mm / M26工作波长 436–656 nm可换保护玻璃
长工作距离物镜系列 M Plan Apo / HR
01

产品简介

长工作距离(LWD)物镜在保持高数值孔径的同时,把物镜前表面到焦面的距离显著拉长,让样品上方留出放置治具、夹持件、加热台或培养皿的空间,是工业显微检测与精密测量的基础光学元件。
本系列汇总 晟滔(国产平替)、Mitutoyo 三丰、Olympus 奥林巴斯、Thorlabs 索雷博 四大品牌:M Plan Apo 1×–100×(WD 6–36.5 mm,NA 0.025–0.70)与 M Plan Apo HR 高分辨型(NA 最高 0.90);Olympus LMPLFLN 5×–100×(FN 26.5,齐焦 45 mm,RMS 螺纹);Thorlabs LMUL-UVB / HPA50XAB 覆盖紫外与可见–近红外。所有 M26 系列均为 无限远校正 + 平场复消色差,工作波长 436–656 nm,齐焦 95 mm,同系列换倍率无需重新对焦。

02

品牌与产品矩阵

品牌与产品矩阵

晟滔(国产平替系列)

WD 6–36.5 mm | 1×–100×

M Plan Apo 1×–100× 与 M Plan Apo HR 5×–100× 全倍率覆盖,NA 0.025–0.90,齐焦 95 mm、M26×0.706,与三丰完全互换。

品牌与产品矩阵

Mitutoyo 三丰

WD 6–36.5 mm | 日本进口

工业测量显微物镜标杆:WF/MF-U、VMU、WLI 白光干涉单元标配光学核心;长 WD + 全视场平像 + 优异色差校正,明场专用。

品牌与产品矩阵

Olympus 奥林巴斯

WD 3.4–22.5 mm | 日本进口

LMPLFLN 5×/10×/20×/50×/100× 长工作距离半复消色差,视场数 FN 26.5(比常规物镜大 40%),RMS W20.32×0.706、齐焦 45 mm。

品牌与产品矩阵

Thorlabs 索雷博

WD 5–20 mm | 美国进口

LMUL-10X/20X/50X-UVB(240–360 nm)与 HPA50XAB(400–1100 nm):空气间隔、高损伤阈值、衍射极限性能。

03

典型应用领域

精密零件检测
台阶/毛刺/划痕/微孔
半导体 / MEMS
晶圆/引线框架微缺陷
光学元件质检
透镜/滤光片表面瑕疵
PCB / 电子
微线路/电极质检
计量实验室
尺寸测量/轮廓比对
04

数值孔径 – 工作距离分布

数值孔径 – 工作距离分布

图 1 长工作距离物镜 N.A.–W.D. 分布(气泡旁数字为放大倍率)。M Plan Apo 标准型沿低 NA/长 WD 到高 NA/短 WD 呈典型权衡曲线;HR 高分辨型在相同倍率下 NA 更高(50× 由 0.55 提升至 0.75,100× 由 0.70 提升至 0.90),代价是 WD 缩短;Olympus LMPLFLN 在 50× 处以 NA 0.50 / WD 10.6 mm 提供更大视场(FN 26.5)。※ NA 0.75 处 Thorlabs HPA50XAB(WD 5.0 mm)与 M Plan Apo HR 50×(WD 5.2 mm)几乎重合,图中以空心菱形区分。

05

全系列型号选型表

品牌系列 / 型号倍率NAWD校正 / 设计波段螺纹 / 齐焦
晟滔M Plan Apo 1× / 2× / 5×1× / 2× / 5×0.025 / 0.055 / 0.1411.0 / 34.0 / 36.5 mm436 – 656 nm 平场复消色差M26×0.706 | 齐焦 95 mm
晟滔M Plan Apo 7.5× / 10× / 20×7.5×–20×0.21 / 0.28 / 0.4235.0 / 34.0 / 20.0 mm436 – 656 nm 平场复消色差M26×0.706 | 齐焦 95 mm
晟滔M Plan Apo 50× / 100×50× / 100×0.55 / 0.7013.0 / 6.0 mm436 – 656 nm 平场复消色差M26×0.706 | 齐焦 95 mm
晟滔M Plan Apo HR 5× / 10×5× / 10×0.21 / 0.4227.0 / 15.0 mm436 – 656 nm 高分辨型M26×0.706 | 齐焦 95 mm
晟滔M Plan Apo HR 50× / 100×50× / 100×0.75 / 0.905.2 / 1.3 mm436 – 656 nm 高分辨型(可换保护玻璃)M26×0.706 | 齐焦 95 mm
MitutoyoM Plan Apo 1× / 2× / 5×(378-800/801/802)1× / 2× / 5×0.025 / 0.055 / 0.1411.0 / 34.0 / 36.5 mm436 – 656 nm;基准波长 587 nmM26×0.706 | 齐焦 95 mm
MitutoyoM Plan Apo 10× / 20× / 50× / 100×10×–100×0.28–0.7034.0 / 20.0 / 13.0 / 6.0 mm436 – 656 nm(378-803/804/805/806)M26×0.706 | 齐焦 95 mm
MitutoyoM Plan Apo HR 5× / 10× / 50× / 100×5×–100×0.21–0.9027.0 / 15.0 / 5.2 / 1.3 mm436 – 656 nm 高分辨(378-787/788/814/815)M26×0.706 | 齐焦 95 mm
MitutoyoM Plan Apo SL 20× / 50× / 100×(超长 WD)20×–100×0.28 / 0.42 / 0.5530.5 / 20.5 / 13.0 mm436 – 656 nm 超长工作距离(378-810/811/813)M26×0.706 | 齐焦 95 mm
OlympusLMPLFLN 5× / 10× / 20×5× / 10× / 20×0.13 / 0.25 / 0.4022.5 / 21.0 / 12.0 mm400 – 700 nm 半复消色差,FN 26.5RMS W20.32×0.706 | 45 mm
OlympusLMPLFLN 50× / 100×50× / 100×0.50 / 0.8010.6 / 3.4 mm400 – 700 nm 半复消色差,FN 26.5RMS W20.32×0.706 | 45 mm
ThorlabsLMUL-10X / 20X / 50X-UVB10×–50×0.25 / 0.36 / 0.4220.0 / 15.3 / 12.0 mmAR 240 – 360 nm(紫外长 WD)W26×0.706 | 齐焦 95 mm
ThorlabsHPA50XAB(Plan Apo VIS+)50×0.755.0 mmAR 400 – 1100 nm(色差校正 436–850 nm)W26×0.706 | 齐焦 95 mm

选型要点:① 同倍率下 HR 高分辨型 NA 更高但 WD 更短,需在"分辨力 ↔ 操作空间"之间权衡;② 齐焦 95 mm 的 M26 系列换倍率无需重新对焦,检测效率最高;③ Olympus LMPLFLN 视场数 FN 26.5,比常规 FN 18.5 物镜大约 40%,适合大范围筛查;④ 螺纹不同(M26 vs RMS)不可直接互换,需配对应转塔或转接环;⑤ 晟滔与三丰 M Plan Apo 系列 1:1 互换,齐焦、螺纹、校正波段完全一致。

主要技术参数

指标名称典型值指标名称典型值
倍率范围1× – 100×(M Plan Apo 全系)工作距离范围6.0 – 36.5 mm(标准型);HR 型 1.3 – 27 mm
数值孔径范围0.025 – 0.70(标准型)最高 NA0.90(M Plan Apo HR 100×,WD 1.3 mm)
分辨力 / 焦深R 0.3–11 µm;D.F. ±0.2–440 µm(λ=550 nm)视场数(FN)24 / 26.5(Olympus LMPLFLN)
工作波长436 – 656 nm(可见光全波段校正)像差校正平场复消色差(M Plan Apo)/ 半复消色差(FL)
共轭方式无限远校正,配 200 mm 焦距管镜齐焦距离95 mm(M26)/ 45 mm(RMS)
安装螺纹M26×0.706(W26, ISO 8038)/ RMS W20.32×0.706接口兼容Mitutoyo WF / MF-U / VMU;Olympus BX / CX / IX
保护玻璃HR 型带 1.8 mm 可换保护玻璃工作介质空气(干式)

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长工作距离物镜分辨率会差很多吗?

同倍率下会低一些,因为 NA 通常更小。但真正决定成像质量的是「视窗引入的球差」与「物镜是否平场」,这两项往往比 WD 本身影响更大。

能不能在物镜前加一片窗口片延长工作距离?

不能。加窗口片只是把像差和反射损失加上去,工作距离不会变长。要更长 WD 只能换物镜。

隔着视窗还能用油浸吗?

不能。油浸要求物镜与样品之间充满浸没介质,中间隔着视窗就必须用干式长 WD 型号,NA 上限会明显降低。

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