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数字源表(SMU) 四象限源测量单元

覆盖台式直流 / 大电流脉冲 / 高精度微电流 / 多通道系统 / 高压源 —— 完整规格,满足从通用 I-V 到功率器件与微弱信号测量的全部需求

四象限源 / 阱 ±300V · ±3A10fA / 100nV 分辨率6½ 位 · 精度低至 0.012%30A 大电流脉冲图形化触摸操作
数字源表(SMU) 四象限源测量单元
01

产品简介

数字源表(SMU)集电压源、电流源、电压表、电流表、电子负载、脉冲发生器于一体,四象限工作,一台即可完成器件 I-V 特性的“施加 + 测量”。全系列涵盖台式直流源表、大电流脉冲源表、高精度微电流源表、多通道源表系统与高压源表:电压覆盖 300 mV ~ kV 级,电流覆盖 10 fA ~ 30 A(脉冲),编程与测量分辨率达 10 fA / 100 nV,基本精度 0.012% ~ 0.1%。无论是通用器件 I-V 测试、SiC/GaN 功率器件脉冲表征,还是光电探测器暗电流等微弱信号测量,均可在一台仪器上完成。

02

核心优势

六机合一 · 四象限

电压源/电流源/6½位 DMM/脉冲发生器/电子负载/电池模拟器集成一机;源与阱双向工作,正负电压电流扫描无需改变接线。

微弱信号高分辨

最低 10 fA / 100 nV 编程与测量分辨率,支持 Guard 保护与三同轴接口,暗电流、漏电流等弱信号测量稳定可信。

大电流脉冲能力

最大 30 A 脉冲电流、400 W 脉冲功率、最小 100 μs 脉宽;脉冲模式抑制器件自热,适合功率器件与模块表征。

高精度测量

6½ 位测量分辨率,基本精度低至 0.012% ~ 0.015%,1 μV / 10 pA 级测量分辨,数据重复性好。

图形化触摸操作

5 ~ 7 英寸触摸屏,图形 / 示波器 / 记录三种视图;内置二极管、三极管、MOSFET、IGBT 等器件 I-V 扫描模板,脱机即可出曲线。

灵活系统集成

标准 SCPI 指令集,标配 RS-232 / USB / LAN / GPIB(选配)接口与数字 I/O,支持多机同步,便于搭建自动化测试系统。

03

产品矩阵

P系列脉冲源表

P 系列 · 脉冲源表

30A · 400W 脉冲

高精度台式脉冲源表,四象限输出,内置 LIV / PIV 测试模板。

S系列台式源表

S 系列 · 台式源表

±300V · ±1A · 30W

台式直流源表,四象限工作,通用器件 I-V 特性测试基准款。

E系列高压源表

E 系列 · 高压源表

kV 级高压输出

高压源测量单元,高压下仍可进行 nA 级电流测量。

多通道源表系统

多通道源表系统

四通道 · PXIe 插卡

四通道台式源表与 PXIe 插卡式源表,多工位并行测试。

TH1991高精度源表

TH1991 系列 · 高精度源表

±210V/±3.03A · 10fA

7 英寸触摸屏 + Linux 平台,最小采样间隔 1 μs。

TH1992双通道源表

TH1992 系列 · 双通道源表

双通道独立输出

双通道并行测试,双器件同步表征,效率翻倍。

04

应用领域

分立器件 I-V
二极管 / 三极管 / MOSFET / IGBT 特性曲线
LED / LD LIV
激光器与 LED 光电一体测试
光电探测器
PD / APD 暗电流与偏压特性
太阳能电池
光伏器件转换效率与 I-V
功率器件
SiC / GaN 静态参数与脉冲表征
新材料 / 传感器
纳米材料 · 忆阻器 · 电阻率
05

图形化操作与软件平台

上位机测试软件界面
全系列源表均配备图形化触摸界面与上位机测试软件:内置序列扫描、LIV / PIV、MOSFET / 三极管脉冲测试、数据记录仪等模板,支持脚本运行,无需编程即可完成器件特性测试并一键导出报告;标准 SCPI 指令集与多接口配置,便于集成到自动化测试系统。整机内置二极管 / 三极管 / MOS 管 / IGBT 的 I-V 曲线扫描与半导体参数分析功能,脱机即可出曲线。
06

应用实例 · 实测结果

1二极管正向 I-V 特性(线性 / 对数双坐标)

二极管正向IV特性实测

二极管(Diode)正向 I-V 特性实测:电压扫描 0 → 1.000 V、步进 20 mV、限流 1.000 A,线性(Lin,蓝)与对数(Log,红)双坐标同步输出,正向开启与指数区一目了然。
数据来源:TH1991 系列整机测试软件实测截图

2N 沟道 MOSFET 输出特性曲线族

MOSFET输出特性实测

N 沟道 MOSFET输出特性(Id-Vd):栅压 Vg = +2.000 ~ +2.300 V 十级步进、漏压 Vd 0 → 1.000 V 六十一点扫描、脉宽 1 ms,一次扫描完整输出特性曲线族。
数据来源:TH1991 系列整机测试软件实测截图

3NPN 三极管输出特性曲线族

三极管输出特性实测

NPN 三极管(BJT)输出特性(Ic-Vce):基极电流 Ib = +100 ~ +500 μA 十级步进、Vce 0 → 2.000 V 扫描,放大区 / 饱和区分辨清晰。
数据来源:TH1991 系列整机测试软件实测截图

以上为源表整机内置测试模板直接采集输出的实测曲线;全系列产品均支持二极管 / 三极管 / MOSFET / IGBT 快速 I-V 扫描与半导体参数分析,无需上位机即可完成同类测试。

01产品系列规格总览

系列 / 型号通道最大电压最大电流(DC / 脉冲)功率(DC / 脉冲)分辨率 · 精度
P 系列 · 脉冲源表
(P100 / P200 / P300 及 B 版)
130 / 100 / 300 V3 A(4 A)
/ 10 A(30 A)
30 W(40 W)
/ 300 W(400 W)
100 nV / 10 fA
±0.1%(B 版 ±0.03%)
S 系列 · 台式源表(S100)1300 mV ~ 300 V100 nA ~ 1 A30 W1 μV / 1 pA
±0.1%
E 系列 · 高压源表1kV 级mA 级—高压下 nA 级测量
多通道源表系统
(SM13043 / PXIe-5180)
4 / 8±10 V±500 mA—多工位并行测量
TH1991 系列 · 高精度源表1±210 V±3.03 A / ±10.5 A31.8 W100 nV / 10 fA
0.015%
TH1992 系列 · 双通道源表2±210 V±3.03 A / ±10.5 A31.8 W100 nV / 10 fA
0.015%

注:括号内为 B 版型号指标(P100B / P200B / P300B);脉冲电流为峰值输出能力,实际脉宽与占空比以规格书为准。

02P / S 系列脉冲与台式源表 型号规格

指标P100 / P100BP200 / P200BP300 / P300BS100(台式)
最大电压30 V100 V300 V300 mV ~ 300 V
电流(DC)3 A / 4 A(B)3 A / 4 A(B)3 A / 4 A(B)100 nA ~ 1 A
电流(脉冲)10 A / 30 A(B)10 A / 30 A(B)10 A / 30 A(B)—
功率(DC / 脉冲)30 W / 300 W(B:40 W/400 W)同左同左30 W
基本精度±0.1%(B 版 ±0.03%)同左同左±0.1%(5½ 位)
最小脉宽150 μs(B 版)同左同左—
扫描模式线性 / 对数 / 脉冲 / 列表扫描(支持自定义波形,Excel 导入)线性 / 指数 / 自定义
显示 / 内置模板5 英寸触摸屏 · 图形化 · 内置 LIV / PIV 模板5 英寸触摸屏
接口RS-232 · GPIB · 以太网 · USB 存储RS-232 · GPIB · 以太网

03TH1991 / TH1992 高精度源表 型号规格

指标TH1991CTH1991BTH1991ATH1991
通道1(TH1992 系列为 2 通道,其余指标相同)
最大电压±63 V±210 V±210 V±210 V
电流 DC / 脉冲±1.515 A / —±3.03 A / ±10.5 A
源分辨率(V / I)1 μV / 1 pA100 nV / 100 fA1 μV / 1 pA100 nV / 10 fA
测量分辨率(V / I)100 nV / 10 fA(6½ 位)
基本精度±(0.015% + 225 μV)(200 mV 量程,读数百分比 + 偏置)
最小采样间隔50 μs20 μs10 μs1 μs
最小脉宽50 μs
显示 / 平台7 英寸电容触摸屏 · Linux 平台 · 内置半导体 I-V 扫描 · 二线 / 四线测量
功率 / 质保31.8 W · 整机 3 年质保

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SMU 和电源加万用表差在哪?

差在回路。SMU 的源与测共用同一输出端,测的是器件两端实际电压,线路压降不进入结果;分离方案里,线路压降与接触电阻都算进了读数。

脉冲模式能测多快?

最小脉宽 100µs 量级,配合 <1% 占空比可把自热压到可忽略。但要确认夹具与电缆的上升时间跟得上,否则实际加到器件上的不是设定波形。

要不要买带图形界面的型号?

调试阶段很有用——内置二极管、MOSFET、IGBT 扫描模板,脱机就能出曲线。做产线则更依赖 SCPI 与上位机,界面只用来排查故障。

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